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该需求涉及纳米级加工技术(表面粗糙度低于1纳米),与用户需求的原子级(≤0.1nm)精度要求高度契合。其高精度运动控制、环境控制设备及超精密加工工艺(如离子束铣削)与用户需求的装备精度、定位误差控制目标直接相关,技术关联度高。
精密超精密智能光学元件研发与产业化
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该需求直接针对金刚石材料的表面处理(去除针状颗粒),与用户需求的金刚石原子级抛光工艺在材料应用上重叠。两者均聚焦金刚石加工技术的改进,且涉及颗粒形态控制与表面处理工艺,技术方向存在交叉。
金刚石颗粒去尖锐化技术
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该需求涉及大尺寸半导体材料(单晶硅)的高纯度工艺及装备开发,与用户需求的大尺寸金刚石加工在“大尺寸材料处理”场景上存在共性。但材料类型(石英vs金刚石)及核心工艺(气孔控制vs原子级抛光)差异较大,关联性较弱。
半导体大尺寸单晶硅用高纯石英坩埚品质控制工艺及装备开发
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该需求聚焦大尺寸装备的高精度定位(如0.02mm精度)与自动化控制,与用户需求中装备主轴国产化率不足、定位误差超2μm的问题存在技术关联。但应用场景(复合材料铺放vs金刚石抛光)差异显著,相似度有限。
大行程大宽度干纤维数字化精确铺放装备系统研究
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